2026-07-29
【Vac Coat】 即時通訊（2026 年 5 月）
渦輪分子泵式碳鍍膜與熱蒸鍍儀
DCT-T-300
產品優勢與亮點
- 採用渦輪分子泵搭配雙段式旋轉泵，可達10^-5及其以下的超高真空等級。
- 電子快門- 搭載石英晶體微天平（QCM）膜厚監測器，具備1 奈米的極致精準度與 0.1 埃的超高解析度。
- 配備直徑300 mm的高規格硼矽酸玻璃，大容量製程腔體。
- 高度與傾斜角皆可彈性調整的旋轉樣品載台。
- 7 吋全彩觸控螢幕，資訊輸入高效便捷；內建可程式化鍍膜製程控制，並支援 USB 數據匯出與傳輸。
離子束濺鍍技術 (IBSD)
打造高精度薄膜製程
離子束濺鍍（IBSD）核心技術優勢
- 能製備出結構均勻且緻密的薄膜。
- 支援金屬、絕緣體、磁性材料以及高熔點金屬的鍍膜製程。
- 出色的製程穩定性與可重複性。
- 在高真空條件下運作，實現超低雜質的薄膜沉積。
- 優異的成分保持能力，能完美保留薄膜層的化學計量比。
- 賦予薄膜極佳且強固的基板附著力。
旋轉式真空泵在工業製程中的應用
從真空鍍膜到化學加工，旋轉式真空泵在眾多工業領域中皆扮演著關鍵角色，致力於建構穩定且可靠的低真空與中真空運作環境。
典型應用領域包括：
- 脫氣 / 除氣
- 結晶製程
- 乾燥與蒸餾
- 蒸發
- 真空鍍膜
- 真空過濾
- 粉塵抽吸 / 除塵
- 曝氣與通風
電子顯微鏡影像
利用掃描電子顯微鏡（SEM）
探索牙齒微觀結構
這組牙齒試片的 SEM 影像，是使用 Vac Coat DSR1 濺鍍儀進行導電鍍膜後所成功捕捉。透過這層極薄的金屬鍍膜，能顯著提升樣品表面導電性、有效抑制充電效應，從而實現微細結構特徵的高解析度成像。卓越的濺鍍處理，是確保生物與牙科標本能進行精準電子顯微鏡分析不可或缺的核心關鍵。
硫化鋅 (ZnS) 薄膜沉積技術
製備高品質的硫化鋅（ZnS）薄膜，仰賴熱蒸鍍（Thermal evaporation）程序中的精準控制 — 從蒸發源的前處理到膜厚即時監測，皆是決定品質的關鍵。透過 DTE 熱蒸鍍儀，能為高階光學、電子組件及能源應用，沉積出具備卓越均勻性與完美化學計量比的硫化鋅（ZnS）鍍膜。
Vac Coat 熱蒸鍍系統，能提供穩定且高精確度的沉積環境，建構出符合學術研究與工業需求的高性能硫化鋅（ZnS）鍍膜層。
已發表技術文獻
利用 DSR1 進行白金（Pt）濺鍍鍍膜，優化奈米材料之 SEM 顯微成像表現
優良的 SEM 影像與卓越的影像之間，關鍵差異究竟在哪裡？答案往往取決於「鍍膜品質」。最新發表的一項研究指出，在進行奈米材料試片的 SEM 觀測分析時，導入白金（Pt）濺鍍鍍膜前處理能帶來顯著效益；該研究所採用的高規格鍍膜，即是透過 Vac Coat DSR1 濺鍍儀製備而成。
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濺鍍儀
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碳鍍膜儀
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熱蒸鍍儀
