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濺射鍍膜機和熱蒸鍍儀
三靶渦輪泵濺射鍍膜機 DST3-T 是一種多真空鍍膜機系統，它將熱蒸鍍儀和濺射鍍膜機整合在一個緊湊的台式系統中。高真空系統適用於多種材料的沉積。三磁控管靶台濺射鍍膜機可在蒸鍍和濺射狀態（非同時）之間輕鬆切換。